奥林巴斯 AL120-12晶圆搬送机
产品简介：
•AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB
•适用于低成本的后期检查
•安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全
•专用宏观照明装置
产品特点：
•人机工程学设计，操作方便
•坚固、可靠和安全传送
•可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性
•分别对应FOUP(Load Port）和FOSB的两种机型
•为异物、伤痕、膜斑、散焦的发现提供了理想的照明方式
•高亮度金属卤化物光源与光纤照明的组合
•实现了300 mm晶圆的冷光源全面照射
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